資騰科技引領先進製程革命，助力半導體良率提升

News 09/03/2024

佳世達集團羅昇旗下資騰科技將於 2024 年 9 月 4 日至 6 日參加「2024 SEMICON Taiwan 國際半導體展」，展位號為 M0842，偕同歐美日及在地合作夥伴展出。此次展會將聚焦於運用隨機性誤差量測工具在先進製程與 EUV 應用，以及 VOC 回收產品，可應用於 AI 伺服器散熱之雙相浸潤式冷凍液回收，助力客戶達成環境永續目標。

先進製程與EUV應用

Fractilia FAME 300 專為量產晶圓廠設計，能即時測量和監控先進節點微影圖案化誤差中的隨機效應 (stochastic)，其全新 FAME OPC 套件，能自動化測量多種隨機效應並縮短運算時間，提升微影圖案化中的 OPC 建模精準度，對 High-NA EUV 製程精度具關鍵影響。可用於所有 SEM 工具、High-NA EUV 與 OPC 資料串流，幫助先進半導體提高良率、降低製程風險，實現高效穩定生產。

推動ESG和AI前沿技術

本次展出產品包括來自德國的 Intelligent Fluids 的物理性去光阻技術、EcoDesign 的 Metal Free 臭氧水產生設備、Prognosis 普格諾斯科技的智能振動感測器、FlowVIEW 邑流科技的濕製程微汙染監控解決方案、AI Particle Imager 影像檢測儀，日本大廠 Morikawa 和德國新創公司 CNM Technologies的合作，主要實績為面板廠、自動化設備廠與半導體客戶。

Intelligent Fluids GmbH：來自德國的創新清潔液體，具備去汙、去膠和去光阻等效果，pH 值介於 5.5~6.5 之間，對人體無直接性傷害，無毒且環保，並能在自然環境中分解。可取代 NMP 等有毒溶劑，幫助客戶實現更安全、可持續的生產過程。
EcoDesign臭氧水產生設備：專利設計的石英三重管及渦旋式臭氧溶解技術，可提供無金屬微粒、穩定且高濃度的臭氧水，在晶圓清洗過程中，可降低 RCA 製程的藥劑使用量，同時維持高品質的製程控制，在矽基半導體與碳化矽半導體製程中獲得廣泛採用，達成更永續製造目標。
Prognosis智能振動感測器：高精度工業級 MEMS 振動感測器，具備防爆、耐腐蝕、寬溫等各種規格，結合 AI 設備故障預診軟體，提供符合半導體廠自動化監控的解決方案。確保設備始終以最佳狀態運行，不僅降低產能損失和維修成本，同時實現節能減碳目標。
FlowVIEW濕製程微汙染監控解決方案：包括臨場電子顯微鏡觀測，突破固態樣品限制，能在 30 秒內完成封裝並觀測到 7nm 微粒子。多通道液體粒子檢測系統整合至產線，能 24 小時監控數據與預警。AI Particle Imager 利用影像檢測和 AI 分析，快速處理濕製程中的粒子和氣泡，生成自動化圖像報表，監控製程品質，降低污染風險與設備成本提升良率。
Morikawa VOCs處理技術：Morikawa 榮獲日本產業技術大獎，該技術針對各領域中的 VOCs 溶劑氣體進行液化回收，減少環境危害的同時降低溶劑購買成本。
其陽雙相浸沒式伺服器:雙相浸沒式散熱解決方案有降低能耗 (PUE)、增加功率密度節省空間及增強散熱效率的優點，搭配上 Morikawa 的 VOCs 冷卻液回收系統，更能夠達到環境友善與提高經濟效益。
CNM Technologies 碳奈米膜材料：具有極微小孔隙及大通量的物理特性，可應用於半導體超高純水過濾、精水處理等。於電池和燃料電池應用，實驗證明可增加鋰電池的2倍壽命，達到增強能源儲存設備的可靠性和效能，提高半導體和精水處理過程中的過濾效率。

資騰科技作為提供尖端技術解決方案的專業銷售平台，已在市場建立了穩固的合作夥伴關係。透過與和淞科技、韶揚科技、友達數位、邑流科技、普格諾斯科技、其陽科技、帝畢仕等多家知名廠商的緊密合作，為客戶提供精確應對先進製程和 EUV 應用挑戰的解決方案，致力於幫助客戶提升製程良率、降低生產風險，並期待與更多合作夥伴攜手，共同推動半導體技術的持續創新與發展。