佳世達集團羅昇旗下資騰科技將於 SEMICON Taiwan 2025 攜手法國 R2D Automation 推廣其代表性設備 Decauto。這款設備為全球唯一的 SOI(Silicon on Insulator, 絕緣層上覆矽)晶圓剝離解決方案,具備高度自動化設計與精密控制機制,經過業界量產驗證,能有效降低製程中晶圓破片、缺陷或厚度不均等問題的 SOI 晶圓剝離解決方案。
資騰科技總經理陳國榮表示:「SOI 晶圓剝離解決方案不只是材料創新,更是推動 AI 晶片、電動車、自駕技術的核心驅動力。Decauto 在國際市場上被充分驗證,已被廣泛採納為 SOI 製程的標準解決方案。透過資騰的在地化支援,協助台灣晶圓廠加速導入 SOI 技術,進而提升台灣半導體在全球供應鏈中的戰略地位。」

Decauto全球唯一SOI晶圓量產解法方案,推動產業發展
Decauto 以其專利的自動化設計與精密控制機制,能在晶圓剝離過程中同時兼顧穩定性、良率與一致性。它不僅確保製程過程中不會產生重大缺陷,還能提升矽(Silicon)或碳化矽(SiC)晶圓的使用效率,在量產中維持一致的良率水準,滿足高品質 SOI 晶圓的要求。
在 SOI 製程中,晶圓剝離(Split)步驟極具挑戰性,需精密控制貼合均勻度與剝離力道,一旦失衡,極易導致晶圓破片、缺陷或厚度不均,直接影響最終良率與製程穩定性。Decauto 具備高度自動化設計,為業界經過量產驗證、穩定供應 SOI 製程的標準解決方案。
資騰科技攜手R2D,推動SOI晶圓製程快速落地
隨著電動車、自駕技術、AI 與高速通訊需求持續升溫,SOI 晶圓的重要性日益提升。資騰為 R2D 在台策略合作夥伴,憑藉在地化的設備裝機與製程整合能力,串連完整資源,協助客戶快速導入 SOI 製程。透過降低實驗風險、縮短開發週期,加速新製程落地並穩健推進量產,展現資騰在地深耕、整合創新的核心價值。
【展覽資訊】
展會名稱:SEMICON Taiwan 2025
展覽日期:2025 年 9 月 10 日 – 12 日
地點:台北南港展覽館 1 館 4 樓 M0134(資騰科技 Standard Technology)