在先進製程邁向 High-NA EUV、ESG 成為製造標配的關鍵時刻，佳世達集團羅昇旗下資騰科技整合全球技術與在地導入經驗，於 SEMICON Taiwan 2025 展示四大先進製程與綠色創新應用亮點，包括 VOCs 液化回收系統、Fractilia FAME 300、液體即時監控平台與臭氧水設備，協助客戶從量測邁向控制。
資騰科技將於 2025 年 9 月 10 日至 12 日在台北南港展覽館 1 館 4 樓，攤位編號 M0134，專注半導體製程與設備解決方案，展出多項創新技術與永續製程關鍵設備，為產業帶來高效率、潔淨且低碳的製程解決方案。
資騰總經理陳國榮表示：「憑藉累積深厚的品牌信任與技術實力，此次與國際夥伴合作，不僅深化價值鏈，也是助力高階製程良率提升、參與AI發展與邁向碳中和的關鍵節點。」
聚焦製程創新與綠色轉型，資騰展出四大應用亮點
Morikawa VOCs液化回收系統：成功導入AI伺服器雙相浸沒式冷卻方案，協助降低碳排
為回應淨零碳排政策與環保法規趨勢，Morikawa VOCs 液化回收系統，榮獲日本產業技術大獎，回收率達 99.9%，回收溶劑可再利用並降低碳排，亦成功導入 AI 伺服器雙相浸沒式冷卻方案，推動資料中心節能減碳。更於今年完成台灣市場的技術展示，展現解決方案的實際效益。
Fractilia FAME 300：即時掌握隨機效應，推進High-NA EUV製程
FAME 300 為 Fractilia 最新量產級隨機性誤差解決方案，結合 FAME OPC 演算法，可即時分析 CD 變異與線邊粗糙等隨機性製程誤差，加速 High-NA EUV 導入與良率提升。資騰為台灣獨家代理，提供完整在地支援。
FlowVIEW液體即時監控平台：打造微粒可視化管理，強化製程效率與回報
隨著高階製程對潔淨環境要求日益嚴格，微汙染監控成為影響良率的關鍵。資騰推出 FlowVIEW 結合即時液體監控系統，整合即時液體監控與 AI 影像辨識，快速掌握槽體與液體微粒變化，協助製程人員即時調整，提高良率並降低成本。
EcoDesign臭氧水設備：專利三重管設計，革新晶圓清洗技術
面對製程藥液減量與環保雙重挑戰，資騰導入具專利石英三重管設計與渦旋式臭氧溶解技術的 EcoDesign 臭氧水產生設備，可穩定產出高濃度、無金屬離子污染的臭氧水，革新 RCA 晶圓清洗製程。可顯著降低藥液用量，實踐低碳晶圓清洗，廣泛應用於矽基與碳化矽半導體製程。
聚焦智慧製造與淨零永續：資騰聯手技術夥伴亮相SEMICON Taiwan
除持續深耕既有代理市場，資騰亦展示多元場景整合應用，攜手自主開發 iAMHS-AMR 無塵室智慧搬運系統的友達數位、國內極少掌握金屬板電堆與混氫發電專利的氫豐綠能、擁有逾 30 年光通信模組與封裝設備與產品基礎的光陽光電等技術夥伴，持續聚焦先進製程。
【展覽資訊】
展會名稱：SEMICON Taiwan 2025
展覽日期：2025 年 9 月 10 日 – 12 日
地點：台北南港展覽館 1 館 4 樓 M0134（資騰科技 Standard Technology）
