
佳世達集團羅昇旗下資騰科技,引進德國製程設備領導品牌 AP&S International GmbH(以下簡稱 AP&S)模組化濕製程解決方案 NexAStep,該方案具備每小時處理 900 片晶圓的高效率、支援 300mm 晶圓尺寸,透過模組化設計大幅縮短安裝與量產導入時間。此外,在降低化學藥液使用展現顯著成效,協助半導體產能提升與永續轉型。
AP&S 模組化濕製程解決方案 NexAStep 已獲全球先進晶圓廠採用,搭載高效晶圓搬運技術,不僅能提升製程穩定性與良率、降低藥液用量及延長清洗週期,並且模組化架構可依照不同製程需求快速擴充,縮短導入時程與降低整合成本,特別適合高變動性的先進製程量產環境。
資騰總經理陳國榮表示:「透過與 AP&S 的合作,資騰能快速將全球領先技術結合在地服務,協助客戶導入最先進且永續的製程方案,在效率與永續間取得雙贏。」
AP&S 業務發展副總裁 Patrick Hirt 表示:「與資騰的合作讓技術能更快在台灣落地,並確保導入過程順暢。」
AP&S 針對不同客戶需求,提供完整產品組合,包括批次製程設備、單晶圓製程解決方案及產線支援設備。資騰透過模組化功能的選型與導入規劃,包含清洗、蝕刻與電鍍等應用,並協助支援設備安裝、製程調校與現場驗證,提供完整的技術服務與維運支援,讓晶圓廠提升產線效率並推動永續製程。
【展覽資訊】
展會名稱:SEMICON Taiwan 2025
展覽日期:2025 年 9 月 10 日 – 12 日
地點:台北南港展覽館 1 館 4 樓 M0134(資騰科技 Standard Technology)