以高精度 MEMS(微機電系統)製造技術與 PrecisionCore 噴頭聞名的精工愛普生公司(SEIKO EPSON CORP., 以下簡稱Epson),與全球高精密設備製造領導者 Manz 宣布展開策略性合作,攜手推動印刷電子在半導體產業中的創新應用,實現半導體金屬化製程中的高效生產與可擴展的解決方案。
此次合作結合了 Epson 世界領先的噴墨印刷技術,以及 Manz 在高精密設備製造與智慧軟體開發方面的專業,為半導體製造業注入全新動能。合作涵蓋實驗室驗證設備與高效率量產解決方案的開發,並於台灣桃園設立全新研發中心,為全球市場提供創新製造技術,協助客戶推進下一代印刷電子應用。

以噴墨印刷技術開啟製程創新
本次合作,Epson 以獨家的 PrecisionCore 精點微噴噴頭印刷技術將功能性材料精準塗佈在如聚醯亞胺(Polyimide / PI)、環氧樹脂薄膜(Ajinomoto Build-up Film / ABF)、固態模封材料(Epoxy Molding Compound / EMC)、矽晶圓(Silicon Wafers)與玻璃等基板上,省去光罩製程,直接形成精密電路結構。這項技術大幅簡化了金屬化製程的複雜度,相較於傳統製程,能顯著提升材料使用效率、環境永續性、製程良率與生產彈性。
雙方攜手開發的工業級噴墨印刷設備更支援 3D 列印,能製造低溫金屬結構,突破傳統金屬熔點限制,拓展半導體封裝材料的應用範圍。因應產業朝向方形基板發展,這套設備也支援玻璃通孔(Through Glass Via / TGV)金屬化與面板級封裝(Panel-level Packaging)重佈線層(Redistribution Layer / RDL)佈線,進一步提升製程效率與產品可靠度。
合作研發中心:縮短驗證週期、加速產業採用
Manz Asia 總經理林峻生表示:「在台灣設立研發中心,能強化我們在即時測試、製程驗證與生產優化方面的能力,有助於縮短技術導入週期並提升市場競爭力,也讓我們更有信心加速噴墨列印在半導體產業的落地。」
Epson 執行董事暨噴頭事業部總經理福田俊也(Shunya Fukuda)指出,採用噴墨技術的數位積層製造,有望成為推動半導體封裝演進的關鍵技術基礎。Epson 具備高精度墨滴控制技術,以及在顯示器與印刷電子領域累積的量產經驗,將與 Manz 共同打造從實驗室到量產皆能無縫銜接的製造平台,並期望為半導體產業的永續發展做出貢獻。
本次雙方合作研發中心,提供專為半導體金屬化製程量身打造的完整噴墨印刷解決方案,從實驗室驗證到量產機型、提供客製化製程驗證與樣品列印服務,到擴大全球市場採用,並加速整合噴墨印刷技術在半導體製程的一條龍服務。
塑造半導體製造的未來
本次合作是邁向更高效率、更具彈性與永續的半導體製造流程的重要里程碑。隨著數位印刷技術持續演進,Epson 與 Manz 合作開發相關設備,致力於推動產業轉型,提供具全球競爭力的先進製造解決方案。
● RDJet100:專為驗證半導體先進封裝金屬化製程中,新型功能性墨水與基板的實驗室設備,搭載 Epson 噴墨印刷技術。
● SDC系列:針對半導體前段與後段製程的工業生產設備,支援晶圓與面板基板多元製程需求。

