隨著全球半導體產業邁向綠色轉型，廢氣處理技術已成為企業 ESG 發展的關鍵指標！鉅為深耕科技業空氣品質服務，最新宣布跨足工業尾氣處理領域，推出觸媒「化學吸附」技術，專攻砷、磷、硼、全氟化物與氮氧化物等氣體，期盼強化國內相關供應鏈自主能力。尤其透過化學吸附的處理方式，不會再二次產生氮氧化物（NOx），為淨零碳排與碳費壓力提供最優解方。
晶圓廠半導體製程中，包括廠務端、設備端、印刷電路板（PCB）與 CoWoS 封裝，在進行蝕刻或光阻去除等工序時，往往需仰賴全氟化物（如四氟化碳CF₄、三氟甲烷CHF₃、八氟環丁烷C₄F₈、六氟化硫SF₆）等特殊氣體。而這類氣體的最大隱憂，在於化學鍵極為穩定，幾乎無法自然分解，進而引發強烈溫室效應。
其中六氟化硫（SF₆）有極高的全球暖化潛勢值（GWP），根據聯合國政府間氣候變遷專門委員會（IPCC）第六次評估報告（AR6）為二氧化碳的 2 萬 4300 倍，名列已知最強的溫室氣體之一。若換算成二氧化碳當量（CO2e），對氣候衝擊遠遠超過一般碳排，成為半導體產業亟需控管的關鍵指標。
現階段業界多半採用高溫燃燒，搭配濕式洗滌方式來處理此種特殊氣體，運作溫度動輒飆破攝氏千度。鉅為總經理簡臨君指出，一旦反應溫度超過 600 度，尾氣內若含氮與氧，便容易結合成氮氧化物，進而引發二次汙染，加上傳統設備運轉過程，需消耗大量天然氣與冷卻水，營運成本不只相當燒錢，更難以應對歐盟碳邊境調整機制（CBAM），以及台灣 5 月即將開徵的碳費挑戰。
「我們將反應溫度精準控制在 400 至 450 度之間，從源頭斷開氮氧化物產生的因果關係。」鉅為總經理簡臨君解釋，化學吸附的技術核心，在於超過百種的專利吸附劑配方，化學吸附透過觸媒反應將毒性分解，不只能處理劇毒砷、磷氣體，吸附濾桶更具備長達 3.5 至 4 年的超長壽命，大幅減少更換支出，整體處理成本也比傳統方式，減少約 10% 至 15%，粗估每年至少可省下數千萬元的相關費用。
化學吸附技術除了適用於半導體業，包含印刷電路板（PCB）產業、火力發電廠甚至焚化爐，皆能透過這套「綠色過濾」方案，提升氮氧化物處理效率至 98% 以上，設備相關數據亦經過工研院等單位嚴格驗證。隨著淨零碳排與綠色永續成為趨勢，透過導入化學吸附技術，妥善處理工業廠房廢氣，不只能一勞永逸解決環保合規問題，更可助攻企業在碳權交易市場取得先機，實現環境保護與經濟效益的雙贏局面。
